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NS系列國產(chǎn)探針式臺階儀通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協(xié)同工作，結(jié)合亞埃級分辨率（5 Å）與智能化分析軟件，可精準測量臺階高度（納米至1050μm）、表面粗糙度（Ra、Rz等參數(shù)）、膜層厚度及應力分布，為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。

?中圖儀器納米級表面形貌臺階儀單拱龍門式設計，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好，而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響，提高了測量精度。線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13μm量程下可達0.01埃。

NS系列精密接觸式臺階儀是一款為高精度微觀形貌測量設計的超精密接觸式儀器，通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協(xié)同工作，結(jié)合亞埃級分辨率（5 Å）與智能化分析軟件，可精準測量臺階高度（納米至1050μm）、表面粗糙度（Ra、Rz等參數(shù)）、膜層厚度及應力分布，為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。

NS系列納米級臺階儀線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。

NS系列接觸式表面形貌臺階儀主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。單拱龍門式設計，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好，而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響，提高了測量精度。

NS系列高精度探針接觸式臺階儀單拱龍門式設計，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好，而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響，提高了測量精度。線性可變差動電容傳感器（LVDC），具有亞埃級分辨率，13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。