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光學掃描式成像測量機輪廓儀，以光學成像測量系統(tǒng)為基礎，配合高精度運動機構和花崗巖龍門式底座，實現(xiàn)了測量精度、速度、穩(wěn)定的**結合；結合高精度圖像分析算法，并融入閃測原理，在測量范圍內(nèi)，任意擺放工件位置、方向、角度，儀器都可自動定位測量對象、匹配模板、測量評價、報表生成，真正實現(xiàn)快速精準測量。

SuperViewW1非接觸3d光學輪廓儀器的X/Y方向標準行程為140*100mm，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。在同等放大倍率下，測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。

SuperViewW1國產(chǎn)3d光學輪廓儀器是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進行測量，主要測量參數(shù)為粗糙度、臺階高、幾何輪廓，主要用于超精密加工行業(yè)。

SuperViewW1光學表面輪廓儀采用CCD取代了顯微鏡中的目鏡，可直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。

SuperViewW1光學3d表面輪廓儀器主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進行測量，主要測量參數(shù)為粗糙度、臺階高、幾何輪廓，主要用于超精密加工行業(yè)。

SuperView W1三維光學成像輪廓儀測粗糙度對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面粗糙度形貌的3D測量。