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?中圖儀器輪廓測量儀SuperViewW1是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

SuperViewW1非接觸3d光學(xué)輪廓儀器的X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。在同等放大倍率下，測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。

SJ5700DUAL掃描粗糙度輪廓測量儀具有精度高、操作方便易用、功能強(qiáng)大、智能防護(hù)、智能接觸等優(yōu)點(diǎn)，一次測量即可自動記錄和顯示任意位置螺紋數(shù)據(jù)及各種螺紋參數(shù)，自動生成被測螺紋的曲線圖、相關(guān)參數(shù)數(shù)據(jù)和圖表，儀器配備各種專業(yè)的現(xiàn)場工件工裝夾具，非常適合各種生產(chǎn)線螺紋工件、絲杠、軸類、筒類、大曲面零件以及特殊多段螺紋的在線測量。

SJ5700DUAL國產(chǎn)表面粗糙度輪廓測量儀器是一種高精度的工件表面粗糙度、輪廓測量分析儀器，可以全量程大范圍連續(xù)掃描，擁有長達(dá)數(shù)百毫米的持續(xù)爬坡能力，非常適合大范圍陡坡表面測量，大工件無需翻轉(zhuǎn)、傾斜調(diào)整，就可實(shí)現(xiàn)輕松測量。

SuperViewW1國產(chǎn)3d光學(xué)輪廓儀器是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進(jìn)行測量，主要測量參數(shù)為粗糙度、臺階高、幾何輪廓，主要用于超精密加工行業(yè)。

SuperViewW1光學(xué)表面輪廓儀采用CCD取代了顯微鏡中的目鏡，可直接從電腦上實(shí)時視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。