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中圖儀器SuperViewW系列3D光學(xué)檢測(cè)儀器具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測(cè)、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺(tái)階高等微納米級(jí)別精度的測(cè)量。

中圖儀器SJ5800系列精密測(cè)量粗糙度輪廓儀一體機(jī)品牌具有12mm~24mm的大量程粗糙度測(cè)量范圍，輪廓和粗糙度一體測(cè)量，無需切換模塊。

中圖儀器SJ5800系列粗糙度輪廓儀采用超高精度納米衍射光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)、超高直線度研磨級(jí)摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，分辨率高達(dá)0.1nm，系統(tǒng)殘差小于3nm。

SuperViewW系列3d輪廓儀白光干涉儀是以白光干涉技術(shù)原理，對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的儀器，通過測(cè)量干涉條紋的變化來測(cè)量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。

SuperViewW1光學(xué)粗糙度輪廓儀一體機(jī)基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

中圖儀器SJ5800國(guó)產(chǎn)粗糙度輪廓儀可以實(shí)現(xiàn)對(duì)產(chǎn)品表面形貌特征、微小結(jié)構(gòu)參數(shù)獲取以及質(zhì)檢功能，并且能夠快速有效地檢查出產(chǎn)品表面存在的小坑洞、凹槽等缺陷；同樣適用于機(jī)械加工過程中的運(yùn)轉(zhuǎn)部件等零件制造，因?yàn)樗坏梢苑奖愕乇O(jiān)控各種尺寸變化還可記錄每個(gè)階段的裂紋或損傷情況。