要測量線性軸的定位精度、重復定位精度和反向間隙等數據，需要使用激光測量系統的以下組件，主要有：XL 激光頭、三腳架和云臺、XC 環(huán)境補償單元、空氣溫度傳感器和材料溫度傳感器、線性測量光學鏡組、光學鏡安裝組件及安裝激光測量軟件的計算機。

　　機床激光干涉儀的信號時交流信號，因而對于激光干涉儀來說，可用放大倍數較大的交流放大器對干涉信號進行放大，這樣，即使光強衰減90%，依然可以得到合適的電信號。該產品可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等，也可以在普通車間內為大型機床的刻度進行標定。

　　如果測量光路長度改變（角E反射鏡C移動），干涉光束的相對相位將改變，由此產生的相長干涉和相消干涉的循環(huán)將導致疊加光束強度的明暗周期變化。角錐反射鏡每移動316nm，就會出現一個光強變化循環(huán)（明—暗—明）通過計算這些循環(huán)來測量移動。通過在這些循環(huán)之間進行相位細分，實現更高分辨率（1nm）的測量。

　　機床激光干涉儀具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學組件結合，可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。

　　在相關軟件的配合下，還可以對數控機床進行動態(tài)性能檢測，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態(tài)特性分析等，具有*的精度和效率，為機床誤差修正提供依據。